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      螺杆式真空泵基本知識

      時(shi)間:2022-03-05 16:02:55作者(zhe):小(xiao)編(bian)點(dian)擊(ji):

      一(yi)、螺杆(gan)式真空泵(beng)特點 
        螺(luo)杆式真空泵脫胎於(yu)螺杆式壓縮機(ji)與(yu)螺杆液(ye)體輸送(song)泵,是容(rong)積(ji)式真空泵中一種(zhong)較為(wei)理(li)想(xiang)的幹(gan)式真空泵。它(ta)能(neng)提供(gong)清潔無油(you)的真空環境,並且對(dui)腐(fu)蝕性氣(qi)體、可(ke)凝(ning)性(xing)蒸(zheng)氣、含(han)粉(fen)塵顆粒氣體有較(jiao)強適(shi)應性,因此在電(dian)子半導體(ti)、製(zhi)藥、石(shi)化(hua)等(deng)一些對清(qing)潔真空環境(jing)要求嚴(yan)格、氣體成分(fen)複(fu)雜的行業領(ling)域(yu),螺杆式真空泵備受青(qing)睞,逐漸(jian)成為傳統(tong)油封機械泵、液環泵的(de)換(huan)代產品。 
        螺杆式真空泵通(tong)過一對非對稱螺杆轉子的相(xiang)向(xiang)運動(dong),來周(zhou)期性改(gai)變齒間(jian)容積實現(xian)輸(shu)送氣體,達到抽(chou)氣的目(mu)的。它具有以(yi)下特(te)點: 
        1、清潔(jie)無油,多相混輸,適應性廣(guang)泛(fan)。螺杆式真空泵轉子間存在嚴格間隙,泵腔(qiang)內無(wu)油,可抽除腐蝕性氣體、有毒及(ji)含粉塵(chen)、可凝性蒸氣等複雜氣體。 
        2、結構(gou)簡單,動平衡好,可靠性高(gao)。螺杆式真空泵零(ling)部(bu)件少(shao),核心部件無易(yi)損(sun)件,也無不平衡慣性力,運轉可靠(kao),壽(shou)命(ming)長。 
        3、因(yin)結構簡單,零部件少,所以操作(zuo)、維(wei)修維護簡(jian)便(bian)。 
        4、強(qiang)製輸氣,可以在(zai)寬壓力範(fan)圍內(nei)保證(zheng)較大抽速(su),排氣量幾乎不受排氣壓(ya)力(li)影響(xiang)。 

       

        二、螺杆式真空泵的結構 
        螺杆式真空泵一般(ban)是(shi)雙(shuang)螺杆結構。螺杆式真空泵是通過一對非(fei)對稱螺杆轉(zhuan)子(zi),在泵腔中作同(tong)步(bu)、高速反(fan)向運(yun)轉,周期性改變(bian)齒間容積而(er)產(chan)生的吸氣和(he)排氣作用的抽氣設備。 
        它的主(zhu)要(yao)結構包括(kuo)螺杆轉子、軸(zhou)承(cheng)、泵體、密封(feng)等。螺杆轉子經精細(xi)動平衡(heng)校(xiao)正,由軸(zhou)承(cheng)支撐,安(an)裝在泵腔中,螺杆與螺杆之間維持(chi)嚴格一定的間隙(xi)。泵工作時,相互之間無磨(mo)擦(ca),運轉平穩,噪音(yin)低,腔內無需潤滑(hua)油。因此,螺杆式真空泵能抽除(chu)含有大量水(shui)蒸汽(qi)及少量(liang)粉塵的氣體場(chang)合,極(ji)限真空高,消(xiao)耗(hao)功率(lv)低(di),具(ju)有(you)節能,免維修等優(you)點。 

       

        螺杆式真空泵主要結構 
        上(shang)圖可見,螺杆式真空泵在結構上比(bi)較簡單。形式上,螺杆式真空泵有臥(wo)式和立式之分;依(yi)據(ju)螺杆轉子型線的不同又可分為單頭螺杆式真空泵與多頭螺杆式真空泵;單頭螺杆式真空泵根(gen)據轉子螺距的不同,可分為等螺距螺杆式真空泵與變螺距(ju)螺杆式真空泵,變螺距中(zhong)又(you)可細分為一段(duan)式、兩(liang)段式、三段式等。 
        多(duo)頭(tou)型(xing)線(xian)在一個導(dao)程內即能完成吸(xi)氣、壓縮、排(pai)氣過程,導程(cheng)少,可有效(xiao)減少泵的體積與重(zhong)量,適用於大(da)抽速領域,但(dan)其型線複雜(za),需(xu)特製道具與專(zhuan)用機床,加(jia)工費用昂貴(gui),且由於泄(xie)漏(lou)三角的因素,真空度(du)不高,因此市場上並(bing)不(bu)多見。 
        單頭型線適用(yong)於中小型螺杆式真空泵,市(shi)場上也多為單頭螺杆式真空泵。其(qi)中等螺距螺杆式真空泵腔內無壓縮,可以輕(qing)鬆(song)排出固(gu)體顆(ke)粒(li)與可凝性氣體,但其排氣溫度與能耗度較高;變螺距螺杆式真空泵腔內有壓縮(suo),排氣溫(wen)度低、能耗低,但對粉塵顆粒以及可凝性氣體的耐(nai)受性不如等螺距。

       


        三(san)、螺杆式真空泵的工作原理 
        因為是脫胎於螺杆式壓縮機,所以螺杆式真空泵的工作原理也(ye)與螺杆式壓縮機類似(shi)。我(wo)們(men)以近(jin)似的多頭型線的來闡(chan)述(shu): 
        1、吸氣過程 
        a、吸氣過程即將(jiang)開(kai)始     
        b、吸氣過程中        
        c、吸氣過程結束(shu) 

        2、壓縮過(guo)程 
        a、壓縮過程開始        
        b、壓縮過程中        
        c、壓縮過程結束排氣開始 

        3、排氣過程 
        a、排氣過程中                   
             b、排氣過程結束 
        螺杆式真空泵的排氣過程。齒(chi)間容積與排氣孔口(kou)連(lian)通後(hou),即(ji)開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小,具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被(bei)排出。 

        四(si)、螺杆式真空泵的應用
        螺杆式真空泵不僅(jin)適應性廣泛,可以在惡劣(lie)條(tiao)件下抽氣,同時可以達到較高真空度(0.1~1Pa)。因此(ci),隨(sui)著半(ban)導體、石化行業的快(kuai)速發(fa)展(zhan),螺杆式真空泵作為一種理想幹泵也開始(shi)廣泛應用於電子半導體、醫藥化工領域,如(ru)半導體行(xing)業的氣相沉(chen)積、蝕(shi)刻(ke),醫(yi)藥化工行業的蒸餾(liu)幹燥、中間體、溶(rong)劑回收(shou)、油氣回收等。 
        雖(sui)然由於型線技(ji)術以及加工上的成本導致(zhi)螺杆式真空泵購(gou)置費用較為昂貴,但從(cong)長遠來說,其寬(kuan)適應、高效節能環保的特性以及低故障(zhang)維修(xiu)率,能在運行周期(qi)內給(gei)企(qi)業帶(dai)來(lai)更(geng)高的綜(zong)合效益與社(she)會(hui)環境效益,使(shi)用的更加廣泛性必是未來的趨(qu)勢(shi)。


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